| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING INSULATING DIAMOND THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0733593(A) |
申请公布日期 |
1995.02.03 |
| 申请号 |
JP19930183998 |
申请日期 |
1993.07.26 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
NAKAMURA RIE;TACHIBANA TAKESHI |
| 分类号 |
C30B29/04;H01L21/314;H01L21/329;H01L29/78;(IPC1-7):C30B29/04 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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