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发明名称 CHEMICAL VAPOR PHASE GROWING METHOD FOR SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH0726383(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19930220441 申请日期 1993.07.07
申请人 MARUYAMA TOSHIRO 发明人 MARUYAMA TOSHIRO
分类号 C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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