发明名称 DETECTION OF SHORT-CIRCUIT BETWEEN WIRINGS
摘要
申请公布号 JPH0685028(A) 申请公布日期 1994.03.25
申请号 JP19920235772 申请日期 1992.09.03
申请人 NEC IC MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 URA TAKAYOSHI
分类号 G01R31/02;H01L21/66;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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