| 发明名称 |
COMPOSITE TYPE ION SOURCE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0721956(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930189108 |
申请日期 |
1993.06.30 |
| 申请人 |
RITSUMEIKAN;TOKYO SEIMITSU CO LTD |
发明人 |
NAKAYAMA YASUYUKI;MIYAKE YOSHINOBU |
| 分类号 |
H01J27/10;H01J27/22;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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