发明名称 Method of manufacturing a semiconductor device having a planarized construction.
摘要
申请公布号 EP0300569(B1) 申请公布日期 1994.12.28
申请号 EP19880201515 申请日期 1988.07.14
申请人 PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 VAN DER PLAS, PAULUS ANTONIUS;DE WERDT, REINIER
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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