发明名称
摘要
申请公布号 JPH06105783(B2) 申请公布日期 1994.12.21
申请号 JP19840184727 申请日期 1984.09.05
申请人 发明人
分类号 H01L29/74;H01L21/66;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/739;H01L29/749;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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