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发明名称 LAYOUT-PATTERN FORMATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06334116(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930124092 申请日期 1993.05.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAMAI NORIYUKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
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