发明名称 Methode zur Passivierung von geätzten Spiegelfacetten von Halbleiterlasern.
摘要
申请公布号 DE69009474(T2) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE1990609474T 申请日期 1990.09.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BUCHMANN, PETER, CH-8135 LANGNAU AM ALBIS, CH;WEBB, DAVID J., CH-8803 RUESCHLIKON, CH;VETTIGER, PETER, CH-8135 LANGNAU AM ALBIS, CH
分类号 H01L21/308;H01L21/306;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01S5/00;H01S5/02;H01S5/028;(IPC1-7):H01S3/025;H01L33/00 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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