| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE BY ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06299357(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19930088545 |
申请日期 |
1993.04.15 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
KAWAI YOSHINOBU;KOJO DAIICHI;MURATA MASAYOSHI;TAKEUCHI YOSHIAKI;UDA KAZUTAKA |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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