| 发明名称 |
High contrast, positive photoresist developer containing alkanolamine |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG43494(G) |
申请公布日期 |
1994.10.14 |
| 申请号 |
SG19940000434 |
申请日期 |
1994.03.24 |
| 申请人 |
HOECHST CELANESE CORPORATION |
发明人 |
LAZARUS RICHARD M;BELL KENNETH L;BAUER CARLA M |
| 分类号 |
G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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