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经营范围
发明名称
PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06283470(A)
申请公布日期
1994.10.07
申请号
JP19930092303
申请日期
1993.03.26
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;HORIIKE YASUHIRO
发明人
HORIIKE YASUHIRO;FUKAZAWA TAKAYUKI
分类号
C23C14/34;C23C16/50;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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