发明名称 Semiconductor device with a gate having asymmetric sidewalls, and a production method thereof.
摘要
申请公布号 EP0392120(B1) 申请公布日期 1994.09.21
申请号 EP19890312417 申请日期 1989.11.29
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 OKU, TOMOKI MITSUBISHI DENKI K. K. OPTELECTRONIC
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/08;(IPC1-7):H01L29/60;H01L29/10;H01L21/28 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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