发明名称 HOCHINTEGRIERBARE SPEICHERZELLE UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 AT110189(T) 申请公布日期 1994.09.15
申请号 AT19880108723T 申请日期 1988.05.31
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 RISCH, LOTHAR, DR., DIPL.-PHYS.;TIELERT, REINHARD, DR. ING., DIPL.-PHY
分类号 H01L27/10;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/82 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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