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发明名称 Measuring head for a combined speckle and speckle/shear interferometer
摘要 Published without abstract.
申请公布号 DE4306653(A1) 申请公布日期 1994.09.08
申请号 DE19934306653 申请日期 1993.03.03
申请人 ETTEMEYER, ANDREAS, DR.-ING., 7910 NEU-ULM, DE 发明人 HONLET, MICHEL, 7914 PFAFFENHOFEN, DE
分类号 G01B9/025;G01B11/16;G01J9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/025
代理机构 代理人
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