发明名称 |
ACCELERATION SENSOR AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06242142(A) |
申请公布日期 |
1994.09.02 |
申请号 |
JP19930051533 |
申请日期 |
1993.02.17 |
申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
HARA TETSUZO;NEGORO YASUHIRO |
分类号 |
G01P15/125;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/125 |
主分类号 |
G01P15/125 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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