发明名称 ACCELERATION SENSOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06242142(A) 申请公布日期 1994.09.02
申请号 JP19930051533 申请日期 1993.02.17
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 HARA TETSUZO;NEGORO YASUHIRO
分类号 G01P15/125;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/125 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
主权项
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