发明名称 PROBE SCANNING TYPE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06213655(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930008309 申请日期 1993.01.21
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 NANKO TOMOAKI
分类号 G01B21/30;G01Q10/02;G01Q10/06;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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