| 发明名称 |
HYBRID INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06188276(A) |
申请公布日期 |
1994.07.08 |
| 申请号 |
JP19920337164 |
申请日期 |
1992.12.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI ENG KK;MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMADA HIROMICHI;JO TOSHITAKA |
| 分类号 |
H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 |
主分类号 |
H01L21/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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