| 发明名称 |
REFERENCE MARK PATTERN DETECTION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR940006120(B1) |
申请公布日期 |
1994.07.06 |
| 申请号 |
KR19910005838 |
申请日期 |
1991.04.12 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. |
发明人 |
UEDA, HIDESHI |
| 分类号 |
G01B11/24;G06K9/48;G06T1/00;G06T7/60;H01L21/52;H05K13/08;(IPC1-7):G06K9/46 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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