发明名称 Verfahren und Anordnung zur Steuerung der Bedampfungsstromdichte und/oder deren Verteilung.
摘要
申请公布号 CH684001(A5) 申请公布日期 1994.06.30
申请号 CH19910002398 申请日期 1991.08.14
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WEGMANN, URS;KOLLER, ALBERT;VOGT, JOSEF
分类号 H01J37/30;C23C14/30;H05B7/00;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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