| 发明名称 |
SOLVENT FOR REMOVING ADHERING WATER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06170109(A) |
申请公布日期 |
1994.06.21 |
| 申请号 |
JP19920325609 |
申请日期 |
1992.12.04 |
| 申请人 |
ASAHI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
YAMASHITA IZUMI;MURANAKA FUMIO |
| 分类号 |
H01L21/304;B01D12/00;(IPC1-7):B01D12/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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