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发明名称 REINSPECTION METHOD AND INSPECTION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06138172(A) 申请公布日期 1994.05.20
申请号 JP19920123848 申请日期 1992.05.15
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 HORIE HAJIME
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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