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发明名称 SHORT PASS CHARGED PARTICLE DETECTOR AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 RU1371475(C) 申请公布日期 1994.05.15
申请号 SU19864074010 申请日期 1986.06.09
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.A.F.IOFFE 发明人 VERBITSKAYA E.M.;EREMIN V.K.;KLYACHKIN L.E.;MALYARENKO A.M.;STROKAN N.B.;SUKHANOV V.L.
分类号 G01T1/24;H01L21/02;H01L31/08;(IPC1-7):H01L31/08 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
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