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发明名称 WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06106149(A) 申请公布日期 1994.04.19
申请号 JP19920105130 申请日期 1992.04.24
申请人 NEC CORP 发明人 SATO MASAAKI
分类号 B08B5/02;H01L21/304;H05K3/26;(IPC1-7):B08B5/02 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
主权项
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