| 发明名称 |
METHOD FOR PURIFYING GAS TO HIGH PURITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0631104(A) |
申请公布日期 |
1994.02.08 |
| 申请号 |
JP19920193599 |
申请日期 |
1992.07.21 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
NUNOGAMI SHINYA;SUGIYAMA NAOHARU;YAMADA HIROSAKU |
| 分类号 |
B01D8/00;F25J3/08;(IPC1-7):B01D8/00 |
主分类号 |
B01D8/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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