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发明名称 SPUTTERING DEVICE AND CATHODE
摘要
申请公布号 JPH0625839(A) 申请公布日期 1994.02.01
申请号 JP19920022089 申请日期 1992.01.10
申请人 SONY CORP 发明人 SATO KENICHI;TAKEDA TSUTOMU
分类号 C23C14/34;G11B5/84;G11B5/85;G11B5/851;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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