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发明名称 Verfahren und Anordnung zur Steuerung der Bündelung eines Strahls monopolar geladener Partikel und Anwendung
摘要
申请公布号 DE3916787(C2) 申请公布日期 1994.01.20
申请号 DE19893916787 申请日期 1989.05.23
申请人 BALZERS AG, BALZERS, LI 发明人 WEGMANN, URS, OBERSCHAN, CH;KOLLER, ALBERT, EL-ING. ETH, SARGANS, CH
分类号 G21K1/093;F04B37/08;H01J37/14;H01J37/21;H01J37/30;H01J37/305;H05H7/00;H05H7/04;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 G21K1/093
代理机构 代理人
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