发明名称 Interferometrisches Verfahren zur Prüfung von asphärische Wellenfronten erzeugenden optischen Elementen.
摘要
申请公布号 DE58906308(D1) 申请公布日期 1994.01.13
申请号 DE19895006308 申请日期 1989.10.17
申请人 FA. CARL ZEISS, 73447 OBERKOCHEN, DE 发明人 KUECHEL, MICHAEL, DR., D-7082 OBERKOCHEN, DE
分类号 G01B11/24;G01M11/02;(IPC1-7):G01M11/02 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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