发明名称 |
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05326559(A) |
申请公布日期 |
1993.12.10 |
申请号 |
JP19920132723 |
申请日期 |
1992.05.25 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
WATANABE KOJI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L21/320;H01L29/50 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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