发明名称 PHOTORESIST PROCESSING SOLUTION
摘要
申请公布号 KR930010775(B1) 申请公布日期 1993.11.10
申请号 KR19850007406 申请日期 1985.10.08
申请人 HOECHST JAPAN CO., LTD.;NISSO PETROCHEMICAL IND. CO., LTD. 发明人 ITOH, KUNIO;WATABE, KIMIO;SHIOZAKI, MASAHIRO
分类号 G03F7/32;G03F7/42;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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