发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05217894(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920041949 申请日期 1992.01.31
申请人 CANON INC 发明人 MATSUMOTO SHIGEYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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