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发明名称
摘要
申请公布号 DE3940083(C2) 申请公布日期 1993.08.19
申请号 DE19893940083 申请日期 1989.12.04
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 GREWAL, VIRINDER, DR.-ING., 8017 EBERSBERG, DE;RASKE, HANS, 8000 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/3213 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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