发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05194088(A) 申请公布日期 1993.08.03
申请号 JP19920025683 申请日期 1992.01.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ARAMAKI NARIMITSU;HONMA KATSUHISA;CHINEN YUKIO
分类号 C30B28/12 主分类号 C30B28/12
代理机构 代理人
主权项
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