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发明名称 HIGH FREQUENCY POWER SOURCE
摘要
申请公布号 JPH05182597(A) 申请公布日期 1993.07.23
申请号 JP19910345573 申请日期 1991.12.26
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ENDO MASAHIKO
分类号 G01N27/62;H01J27/16;H01J43/26 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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