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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05175183(A) 申请公布日期 1993.07.13
申请号 JP19910359798 申请日期 1991.12.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IOKA SATOSHI;IRIE YUZO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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