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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09260375(A) 申请公布日期 1997.10.03
申请号 JP19960061138 申请日期 1996.03.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMOOKA YOSHIAKI;IIJIMA TADASHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8238;H01L23/522;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/823 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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