| 发明名称 |
GATE PROTECTIVE FILM AND ITS FORMATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05166842(A) |
申请公布日期 |
1993.07.02 |
| 申请号 |
JP19910328753 |
申请日期 |
1991.12.12 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OMURO KAZUHIKO;NISHI SEIJI |
| 分类号 |
H01L21/318;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/318 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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