| 发明名称 |
HOLDING TOOL FOR POLYCRYSTALLINE SILICON ROD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05148071(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910341986 |
申请日期 |
1991.11.28 |
| 申请人 |
SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD |
发明人 |
ICHIMURA KATSUMI;IKEDA YASUHIRO |
| 分类号 |
C01B33/02;C30B13/32;C30B29/06 |
主分类号 |
C01B33/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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