发明名称 WIRING METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05109895(A) 申请公布日期 1993.04.30
申请号 JP19910269803 申请日期 1991.10.18
申请人 NEC CORP 发明人 HAMANO KYOJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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