发明名称 MANUFACTURE OF FERROELECTRIC MEMORY
摘要
申请公布号 JPH0575137(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910236634 申请日期 1991.09.17
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 ADACHI HIDEO;OMURA MASAYOSHI
分类号 H01L21/8247;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/788;H01L29/792;H01L49/00 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址