发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0575045(A) 申请公布日期 1993.03.26
申请号 JP19910234194 申请日期 1991.09.13
申请人 NEC CORP 发明人 SAKAI ISAYOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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