发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0547920(A) 申请公布日期 1993.02.26
申请号 JP19910207734 申请日期 1991.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASHIMI KAZUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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