| 发明名称 |
FORMATION METHOD OF CONDUCTIVE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0521428(A) |
申请公布日期 |
1993.01.29 |
| 申请号 |
JP19910175149 |
申请日期 |
1991.07.16 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TOYODA HIROSHI;HASUNUMA MASAHIKO;KOBANAWA YOSHIKO;KAWANOUE TAKASHI;KANEKO HISAFUMI |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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