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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04371576(A)
申请公布日期
1992.12.24
申请号
JP19910146397
申请日期
1991.06.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
YAGI HARUYOSHI
分类号
C23C14/35;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/285
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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