| 摘要 |
<p>Um mehrere Kalotten 13 gleichzeitig auf kostengünstige Weise mit gleicher und hoher Qualität zu beschichten, sind mehrere Beschichtungskammern 12 a, 12 b zu einer Kalottenbeschichtungsstation 1 zusammengefaßt, die über ein symmetrisches Gasleitungssystem 175 mit einem gemeinsamen Gaserzeuger und über ein Gasleitungssystem 95 mit einer gemeinsamen Vakuumpumpe 90 verbunden sind. Die Gasleitungen 170, 171, 172, 91, 92, 93 weisen eine Querschnittsfläche QA(x) und eine Querschnittsform QF(x) auf, die in Abhängigkeit von der Entfernung x vom Gaserzeuger bzw. von der Vakuumpumpe im wesentlichen gleich ist. Dadurch werden in allen Beschichtungskammern 12 a, 12 b gleiche Strömungsverhältnisse gewährleistet. Die Gasleitungssysteme 95 und 175 können durch Präzisionsrohre oder durch einen Stapel von massiven Platten gebildet werden, in die Gaskanäle durch Bohren oder Fräsen eingebracht sind. Mehrere Kalottenbeschichtungsstationen 1 bilden eine Anlage, die über entsprechende symmetrische Gasleitungssysteme mit einer gemeinsamen Vakuumpumpe und einem gemeinsamen Gaserzeuger verbunden sind. <IMAGE></p> |
