Die Erfindung betrifft metallorganische Verbindungen der Elemente Al, Ga und In, die zweifach intramolekular stabilisiert sind, sowie deren Verwendung zur Herstellung dünner Filme und epitaktischer Schichten durch Abscheidung aus der flüssigen oder festen Phase.
申请公布号
EP0507129(A1)
申请公布日期
1992.10.07
申请号
EP19920104278
申请日期
1992.03.12
申请人
MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG
