发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM FROM GELATINOUS MATERIAL OF ZIRCONIUM OXIDE-BASED PRECURSOR
摘要
申请公布号 JPH04280817(A) 申请公布日期 1992.10.06
申请号 JP19910043432 申请日期 1991.03.08
申请人 TSUCHIYA:KK 发明人 HAYASHI HIROAKI
分类号 C01G25/02;C23C18/12 主分类号 C01G25/02
代理机构 代理人
主权项
地址