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发明名称 CLEAN AIR ROOM FOR A SEMICONDUCTOR FACTORY
摘要
申请公布号 EP0450142(A3) 申请公布日期 1992.09.30
申请号 EP19900116036 申请日期 1990.08.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA N.M.B. SEMICONDUCTOR 发明人 SHINODA, SHOUSUKE, C/O K.K. N.M.B. SEMICONDUCTOR;SUGIHARA, YUKIO, C/O K.K. N.M.B. SEMICONDUCTOR;YAMASHITA, TETSUA, C/O K.K. N.M.B. SEMICONDUCTOR;MATSUMOTO, YOSHIHIRO, C/O K.K. N.M.B.
分类号 F24F7/06;F24F3/16;(IPC1-7):F24F3/16 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
主权项
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