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发明名称 OPTICAL CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH04273434(A) 申请公布日期 1992.09.29
申请号 JP19910034756 申请日期 1991.02.28
申请人 NEC CORP 发明人 UESUGI FUMIHIKO
分类号 C23C16/04;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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