| 发明名称 |
DEPOSITION APPARATUS AND EXTERNAL ISOLATION MODULE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920008117(B1) |
申请公布日期 |
1992.09.22 |
| 申请号 |
KR19840003513 |
申请日期 |
1984.06.21 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES INC. |
发明人 |
GATTUSO, DAVIO A. |
| 分类号 |
H01L31/04;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;F16J15/16;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/20 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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