发明名称 INTEGRATED CIRCUIT BURN-IN APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04240579(A) 申请公布日期 1992.08.27
申请号 JP19910006647 申请日期 1991.01.24
申请人 SHARP CORP 发明人 NAGAHIRO MASAYUKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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